持续推力:最小83N~更大2220N
峰值推力:最小230N~更大7410N
温升抑制到:0.07℃/W
推力波动:小于2%
重复定位精度:
磁栅:±3μm;
光栅:±2μm;
无光栅磁栅:≤±5μm
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