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持续推力:最小83N~更大2220N

峰值推力:最小230N~更大7410N

温升抑制到:0.07℃/W

推力波动:小于2%

重复定位精度:

磁栅:±3μm;

光栅:±2μm;

无光栅磁栅:≤±5μm

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