常州应用在晶圆搬运机械手关节上的案例

在半导体制造领域,晶圆的搬运和定位是至关重要的一环。传统机械手由于精度和速度的限制,难以满足日益严苛的生产要求。在半导体设备制造商决定对其晶圆搬运机械手进行升级。他们选择了搭载谐波减速机的旋转执行器全新设计方案,取得了显著成效:精度提升:关旋转执行器以其零背隙和超高传动精度,使得机械手定位精度从±0.1mm提升至±0.01mm,完全满足晶圆加工的严苛要求。速度加快:新型机械手搬运速度提高了30%,大大提升了生产效率。稳定性增强:谐波减速机结构紧凑,运行平稳,机械手运行噪音降低了15分贝。使用寿命延长:新型机械手在24小时连续运行的情况下,使用寿命可达5年以上,远超传统设备。
维护成本降低:新型机械手采用模块化设计,维护保养更加便捷,维护成本降低了40%。能耗降低:由于谐波减速机效率高,新型机械手能耗降低了20%,为客户节省了大量能源成本。
通过采用谐波减速机,该制造商的晶圆机械手在精度、速度、稳定性等方面都取得了突破性进展。这不仅提高了生产效率,还为客户带来了可观的经济效益。
此双臂晶圆机器人中R1轴应用的我们32的旋转执行器，R2轴用到的是我们14的旋转执行器。